[文献资料]二、俄歇电子能谱分析的测试方法介绍

首先要根据经验公式和各元素的电子电离能，计算出各俄歇电子的能量，制成谱图手册，习惯上用微分谱进行定性分析。由于一次电子束能量远高于原子内层轨道的能量，可以激发出多个内层电子，产生多种俄歇跃迁，因此，电子能谱图上会有多组俄歇峰，尽管使定性分析变得复杂，仍会获得准确度很高的定性分析结果。AES定量分析的依据是俄歇谱线强度，利用俄歇电子的强度和样品中原子浓度的线性关系，进行元素的半定量分析。由于溅射速率取决于被分析的元素，离子束的种类、入射角、能量和束流密度等多种因素，溅射速率数值很难确定，一般经常用溅射时间表 ......