[文献资料]三、分 辨 率

分辨率（resolution）是决定电镜性能的最重要的参数。目前透射电镜的分辨率约为0.2nm，已接近电镜分辨率所能达到的理论极限。扫描电镜的分辨率除了受透镜的像差限制外，还与所使用的阴极种类有密切关系，当使用发叉式钨丝作为阴极时，分辨率约为3.5nm，如果使用发射式阴极，分辨率可提高到1.5nm。 ......