[文献资料]二、扫描电子显微镜的工作原理

电子枪发射出来的电子束，经栅极聚焦后，在加速电压作用下，经过电磁透镜所组成的电子光学系统，电子束聚成一个具有一定能量、强度、斑点直径的电子束聚焦在样品表面。扫描电镜采用逐点成像的方法，把样品表面不同的特征，按顺序、成比例地转换为视频信号，完成一帧亮暗程度不同，表面起伏的图像，从而在荧光屏上观察到样品表面形貌。 ......