（三）电子显微镜法

电子显微镜是用电子波代替光波，电磁聚光镜代替普通聚光镜等。它是将集焦成很细的电子束照射于试样，并在荧光屏或感光片上显现出其微观形貌与大小的一种电子光学微观分析仪器。目前有透射电子显微镜（TEM）、扫描电子显微镜（SEM）、扫描隧道显微镜（ST M）、场电子显微镜（FEM）、场离子显微镜（FI M）、低能电子衍射（LEED）、俄歇谱仪（AES）、电子探针、原子力显微镜（AFM）、。激光力显微镜（LFM）、静电力显微镜（ET M）等，这些显微镜在研究表面科学与微粒结构、组成、大小方面起重要作用。ST M的不足之处是试样必须具有一定的导电性，无法直接观测绝缘体。