质谱仪由进样系统、离子源、质量分析器、离子检测器、真空系统、控制与数据处理系统等部分组成,图7‐43为质谱仪的工作方框图。进样系统将样品引入离子源,样品在离子源中离子化,生成的离子经加速进入质量分析器,质量分析器将离子按m/z大小不同进行分离,分离后的离子依次进入检测器,检测器接收离子流信号并将其放大,然后送至数据处理系统处理得到质谱图。质量范围的大小取决于质量分析器,一般双聚焦质谱仪的质量范围为1~2000,四极杆质谱仪的质量范围上限一般在1000左右,也有的可达3000,而飞行时间质谱仪的质量范围可达几十万。质量精度是高分辨质谱仪的一项重要指标,质量精度越好的质谱仪,给出的元素组成式越可靠。
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