电感耦合等离子体质谱法(inductively coupled plasma mass spectrometry,ICP‐MS),属于无机质谱,也称原子质谱,是20世纪80年代才发展起来的新兴分析技术。它是以电感耦合等离子体(ICP)作为质谱仪的高温离子源,将样品中待测元素原子化、并进一步电离,质谱仪(MS)将来自ICP的离子高速顺序扫描,利用其质荷比(m/z)将所有元素分离,进行定性、半定量或定量分析,同时还可给出同位素信息。其中14N2 +干扰28Si +,NOH +干扰31P +,16O2 +干扰3 ......