[文献资料]二、电子探针仪的测试方法介绍

电子探针分析有四种基本方法：定点定性分析、线扫描分析、面扫描分析和定点定量分析。通常将电子束扫描线及特征X射线强度分布曲线重叠于二次电子图像之上，直观地表明元素含量分布与形貌、结构之间的关系。在稳定的电子束照射下，由谱仪得到的X射线谱在扣除背景计数率之后，各元素的同类特征谱线的强度值应与它们的浓度相对应。在进行X射线定量分析时会受到各种因素的影响，要求对数进行值校正，才能用作样品中元素绝对量的测定，这些校正通常包括：仪器校正，逃逸峰和背景的去除，重选峰的剥离以及吸收校正、阻挡校正和背散射校正等。 ......