[文献资料]第五节 俄歇电子能谱分析

俄歇电子能谱分析（Auger electron spectroscopy，AES）是建立在电子技术、弱信号检测技术和超真空技术基础上的表面分析技术，它与扫描电镜相结合，根据俄歇电子的能量和数量确定材料的元素种类和含量，对样品表面0.5～2nm范围内进行灵敏的分析。绝对灵敏可达到3～10单原子层，且分析速度较快。检测俄歇电子的能量和强度，可以获得材料表层化学成分的定性或定量信息。 ......