[文献资料]二、扫 描 电 镜

扫描电镜镜筒中的照明系统与透射电镜类似，只是此时的物镜起着聚光镜的作用参与构成照明系统。经照明系统会聚起来的电子束在打到样品上以前，通过扫描线圈。扫描线圈内通以锯齿波形电流，因而使电子束按着一定的频率发生偏转，称为扫描。其中，二次电子像主要与样品表面的形貌有关，散射电子像既与表面形貌也与表面化学成分有关，而特征X线则能准确反映样品的化学成分。扫描电镜的放大倍数取决于电子束在样品上的扫描宽度和显示器荧光屏的宽度之比。同样，扫描电镜也需要真空系统和电源系统等以维持其正常工作。 ......