二、基本原理

当用一个高能粒子（电子、质子等）轰击某物质时，若该物质的原子内层电子被轰出电子层，便在内层形成空位，根据核外电子排布遵循的能量最低原理，该空位会立即被较高能量级电子层上的电子所填充。例如当K层电子被轰出，L层电子便会填充到K层，两者能量之差。管内抽真空到1.3 × 10 － 4Pa，在两极之间加上几万伏的高压，加热阴极产生的电子被加速向阳极靶上撞击，此时电子的运动被突然停止，电子的能量大部分变成热能（金属靶需通入水或油冷却），只有不到1%的电功率转变成X线辐射从透射窗射出，即初级X射线。已知d的晶体,测θ角，从而计算出特征辐射波长，再进一步查出样品中所含元素，即X射线荧光分析。