[文献资料]第二节 扫描电子显微镜

扫描电子显微镜（scanning electron microscope，SEM）是以电子束作为照明源，把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描方式照射到试样上，产生各种与试样性质有关的信息，然后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像。近年来，扫描电子显微镜发展迅速，又结合其他许多技术发展成为分析型的扫描电子显微镜，仪器结构不断改进，分析精度不断提高，应用功能不断扩大。除了上述6种信号外，固体样品中还会产生例如阴极荧光、电子束感生效应和电动势等信号，这些信号经过调制后也可以用于分析。 ......