[文献资料]第三节 声波生物传感器

声波传感器（acoustic wave sensor）是将外界反应信号转换成机械波或声波的形式，这些经转换的波的形式可随反应信号特征而改变振幅、频率或传播时间。将振幅、频率和时间的变化特征与反应信号一一对应，分析两者之间的关系模式，可以界定外界反应信号的有无、强度或其他特征。常见的声波传感器有超（次）声波传感器、触屏传感器、压电传感器等。随着微细加工技术的不断发展，压电石英晶体生物传感器的阵列化、微型化将是未来压电石英晶体传感器的发展方向。 ......