二、扫描电镜的使用

扫描系统的作用是使电子束作光栅状扫描，而且透镜中电子束的扫描运动必须与显像管中的电子束的扫描运动严格同步。扫描电镜中打在样品上的电子束流很小（约10-10 ～ 10-12安培） ，电子束的直径为5nm到几十nm ，束的能量较小（加速电压可小至2千伏） ，电子束不是固定照射在样品的某一区域而是以点的形式在样品表面作光栅状扫描，因此，由电子束照射所引起的样品损伤与污染也较小。4 .扫描电镜有何特点及应用？ ......