[文献资料]第四节 电子探针X射线显微分析

电子探针X射线显微分析（electron probe microanalysis，EPMA）是一种显微分析和成分分析相结合的微区分析方法，是研究材料组织结构和元素分布状态的重要分析手段。电子探针镜筒部分的结构和扫描电子显微镜大体相同，只是在检测器部分使用的是X射线谱仪，检测X射线的特征波长或特征能量，对微区的化学成分进行分析。常用的X射线谱仪有两种：一种是利用特征X射线的波长，实现对不同波长X射线分别检测的波长色散谱仪，简称波谱仪（wavelength dispersive spectrometer，WD ......