【设备参数】

输出能量：0.3～10.0mJ（每脉冲）公差：±20%（如果输出量小于0.5mJ，允许误差±0.1mJ）最大输出量：& lt .聚焦转移：0～500 μ m（连续变量，两者向前和向后）单一类型：1脉冲/触发。输出能量：OFF（0 μ W），0.5～25 μ W（在10级可调整）瞄准方法：双电子束方法。总放大率/观察区域直径：如表2-11-1所示。功率消耗：≤ 100VA。 ......