633﹒高灵敏度气体传感器

日本三菱电机公司与兵库县工业技术中心共同开发了高灵敏度气体传感器。该传感器采用了半导体激光，能够检测浓度为100ppm级的甲烷气体。高精度、高灵敏度气体传感器采用了如下新技术：①采用单独的半导体激光器，具有0.001 μ m的控制精度。采用现已实用化的陶瓷等气体传感器，只能检测设置场所的浓度，只能在设备内部设置多个传感器，作为固定式检测设备使用。新传感器具有的100ppm的气体检测精度，是甲烷气体在空气中爆炸的浓度限界的千分之一以下，基本上达到了接近限界的灵敏度，可以作为早期检测生产气体设备内部的异常的远 ......