为保证洁净区内的环境卫生,对安装在洁净区内的设备也要做一些要求。基本原则就是:设备、设施的安装及材质要符合洁净区的卫生要求,设备及设施使用过程中不得对洁净区的环境造成不良影响,设备设施要便于维护和保养。一般的设备及设施在使用过程中均会产热、发出噪音,有的设备还会向外排放气体、液体,这些都会对洁净区的环境造成影响,甚至影响产品质量。以单独的排风管路为例,在不使用时应有止回装置防止洁净区外的空气进入洁净区内,一般采用排风管路上安装高效过滤器的方法来解决此问题。洁净区内安装的设备、设施应以运行稳定,维护保养频次较低,维护保养过程不对洁净区造成太大影响为宜。
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