射波刀使用一个紧凑型、能产生6MeVX射线和电子束的轻型直线加速器,直线加速器安装在由机器人控制的机械臂上。该直线加速器配有12个准直器,准直器直径从5mm到60mm。早期第三代射波刀头颅追踪的精确度为0.6mm±0.3mm,当头颅CT扫描层厚为1.25mm时,射波刀总体误差为1.1mm±0.3mm。目前头颅CT扫描层厚为1mm,使用六维颅骨追踪技术,治疗头颅肿瘤的误差为0.44mm±0.12mm,使用金标追踪技术时的误差为0.29mm±0.1mm,使用脊柱追踪技术治疗脊柱及其周围肿瘤的误差为0.53mm ......