[文献资料]第三节　扫描电镜

在使用透射电镜的过程中，人们发现透射电镜成像缺乏立体感，且不是每一个标本都适合制成超薄切片，为了观察较厚标本的立体结构，人们根据反射式光学显微镜的原理发明了扫描电镜。样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转,因此，可以从各种角度对样品进行观察。图像的放大范围广,分辨率也比较高。电子束对样品的损伤与污染程度较小。在观察形貌的同时,还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析。能利用电子束与物质相互作用而产生的次级电子、吸收电子和X射线等信息分析物质成分。当电子束作光栅状扫描时，可从各像元依次检测出信号，并一一 ......